Trước thời nhà Đường
Người đầu tiên là Khương Tăng Hội, sống tại Giao Chỉ khoảng thế kỉ thứ ba CN. Một số ý kiến xem ông là thiền sư đầu tiên của Việt Nam. Tất nhiên từ "Thiền" của ông có khác biệt với phương pháp mà Bồ Đề Đạt Ma sẽ truyền sau này, vì ông sinh trước tới hai thế kỉ.[cần dẫn nguồn] Ông biên tập nhiều kinh sách, sang Đông Ngô bấy giờ là thời Tam Quốc truyền đạo và để lại dấu ấn nơi này.[3]
Kế đến là Mâu Tử (hay Mâu Bác). Cần biết rằng Giao Chỉ tuy nội thuộc nhà Hán nhưng vì ở quá xa và vì phong tục văn hóa khác biệt với người Hán nên thư tịch Trung Hoa kể cả Hậu Hán Thư, hầu như không hề đề cập đến. Tác phẩm đạo Phật đầu tiên bằng Hán tự lại được viết tại Giao Chỉ năm 189 CN, đó là cuốn Lý Hoặc Luận của Mâu Tử, một người Trung Hoa trước theo Lão giáo, về sau cư ngụ tại Giao Chỉ, theo học đạo Phật ở đây và trở thành một Phật tử rất thuần thành.[2]
Vào cuối thế kỉ thứ sáu (khoảng năm 580), thiền sư Tì-ni-đa-lưu-chi vào Việt Nam mang theo đạo Thiền của tổ sư Bồ Đề Đạt Ma, và như vậy Thiền tông chính thức xuất hiện tại xứ này. Đặc biệt, các thiền sư dòng Tì Ni Đa Lưu Chi thường có hình thức tu tập "Tổng Trì Tam Muội" (Dharani samadhi), một hình thức tu tập phổ biến của Mật tông (Tantra), dùng chân âm kết hợp với ấn quyết trong trạng thái đại định để giữ được thân, khẩu, ý. Ở Hoa Lư (tỉnh Ninh Bình, Việt Nam), một cột kinh Phật bằng đá vào thế kỉ thứ 10 [4] có khắc bài thần chú Phật Đỉnh Tối Thắng Đà La Ni (Usnisavijaya dharani), một thần chú phổ biến của Mật tông, đã được phát hiện. Như vậy, rất có thể Mật tông, một nhánh quan trọng của đạo Phật, đã xuất hiện ở đây nếu không cùng thời điểm thì cũng sau Thiền tông không quá lâu.
Thời nhà Đường
Vào năm 820, thiền sư Vô Ngôn Thông vốn là đồ đệ sư Bách Trượng Hoài Hải mang theo tư tưởng "đốn ngộ" của Nam tông do ngài Huệ Năng sáng lập vào nơi này. Ông cùng với thiền sư Tì-ni-đa-lưu-chi và thiền sư Thảo Đường sau này được Thiền Uyển Tập Anh, một cổ thư xưa nhất của Thiền tông Việt Nam, xem là tổ sư của ba Thiền phái lớn tại xứ này.
Một ý kiến cho rằng Lục Tổ Huệ Năng là người Việt.[5] Tuy phân tích trong nghiên cứu này còn nhiều chỗ chưa xác đáng, tuy vậy nó cũng cung cấp vài điểm đáng lưu tâm, nhất là xét văn phong chép trong Pháp bảo đàn kinh, một tác phẩm học trò lưu lại lời giảng của ngài Huệ Năng. [cần dẫn nguồn]
Tuy nhiên, cũng tương tự lịch sử Giao Châu thời Bắc thuộc còn nhiều khoảng trống, có nhiều nhân vật và sự kiện khác của đạo Phật tại đây không được ghi chép lại, tạo ra suy nghĩ chưa đầy đủ về tình hình đạo Phật hiện thời. Học giả Lê Quý Ðôn nói: "Các bậc cao tăng nước ta không phải ít; trong khoảng thuộc Tấn thuộc Ðường, tất nhiên có nhiều điều đáng ghi chép, nhưng ghi chép thiếu sót" (Kiến Văn Tiểu Lục).[6]
Sách Ðại Ðường Cầu Pháp Cao Tăng Truyện của Nghĩa Tịnh (682 - 727) có chép tiểu sử sáu vị tăng sĩ Việt Nam từng qua Ấn Ðộ du học vào cuối thế kỷ thứ bảy đầu thế kỷ thứ tám. Ðó là các vị: Vận Kỳ, Giải Thoát Thiên, Khuy Xung, Huệ Diệm, Trí Hành, Ðại Thừa Ðăng.
- Pháp sư Vận Kỳ từng vân du với thiền sư Ðàm Nhuận người Trung Hoa, Ðàm Nhuận cũng từng lưu lại Giao Châu một thời gian. Vận Kỳ giỏi Phạn ngữ và Hán ngữ. Ông thọ giới cụ túc (tỳ khưu) với Jnanaphadra (Trí Hiền) ở đảo Java. Tại đây thiền sư Hội Ninh người Trung Hoa đang dịch với thầy ông là Jnanaphadra cuốn Ðại Niết Bàn của hệ phái Đại thừa. Dịch xong hai ông nhờ Vận Kỳ đem về dâng cho vua Ðường. Vận Kỳ ghé qua Giao Châu trước khi qua Ðường trao kinh, rồi lại trở lại Giao Châu thuyết pháp cho cả hai giới tăng và tục. Sau đó, Vận Kỳ trở lại Java. Ông gặp thầy là Jnanaphadra, nhưng không gặp Hội Ninh, vì ông này đã đi Ấn Ðộ. Nghĩa Tịnh cho biết ông đã gặp Vận Kỳ ở Ấn Ðộ khi ông khoảng 30 tuổi.
- Pháp sư Giải Thoát Thiên từng qua Ấn Ðộ bằng đường thủy, tham bái Bồ Ðề Ðạo Tràng (Ðại Giác Tự) và các thánh tích quanh đó. Tên Phạn ngữ của ông là Mộc Xoa Ðề Bà (Moksadeva). Ông mất lúc khoảng 25 tuổi.
- Pháp sư Khuy Xung, tên Phạn ngữ là Chất Ðát La Ðề Bà (Citradeva), cùng một thiền sư Trung Hoa tên là Minh Viễn đi thuyền qua Tích Lan rồi lên Ấn Ðộ. Minh Viễn chuyên về Thiền học, đã gặp Khuy Xung ở Giao Châu. Họ đi đến đâu thì thu thập thêm kinh điển đến đó. Họ có đến Bồ Ðề Ðạo Tràng và thành Vương Xá. Ðến khi tới được rừng Trúc Lâm thì Khuy Xung ngã bệnh và mất tại đây.
- Pháp sư Huệ Diệm là đệ tử của thiền sư Vô Hành người Trung Hoa. Ông họ Hứa, đã cùng du hành đi Tích Lan và ở luôn tu học tại đây.
- Pháp sư Trí Hành người Ái Châu (Thanh hóa), tên Phạn ngữ là Bát Nhã Ðề Bà (Prajnadeva). Ông đi Ấn Ðộ bằng thuyền và chiêm bái đủ các Phật tích. Ông đi lên miền bắc vùng sông Hằng và ở tại đó tu chùa Tín Giả. Ông viên tịch ở đây lúc 50 tuổi.
- Thiền sư Ðại Thừa Ðăng, tên Phạn ngữ là Ma Ha Dạ Na Bát Ðịa Dĩ Ba (Mahayanapradipa). Ông xuất gia ở Dvararati, Ấn Ðộ; sau đó theo sứ thần nhà Ðường là Diệm Tự về Trường An. Tới chùa Từ Ân ông gặp pháp sư Huyền Trang xin thọ giới tỳ kheo. Sau một thời gian tu học, ông trở về Giao Châu rồi lại đi Tích Lan bằng đường biển. Sau đó ông tới Nam Ấn Ðộ, rồi đi thẳng lên miền Ðông. Ông ở lại đây 12 năm, học thông Phạn ngữ. Ông đã chú giải tác phẩm Duyên Sinh Luận (Nidana-sastra) và một số kinh điển khác. Khi Nghĩa Tịnh sang Ðông Ấn Ðộ thì gặp ông. Nghĩa Tịnh rủ ông cùng đi về miền Trung, trước là tới học viện Na Lan Ðà (Nalanda), rồi Vajrasana rồi Vaisali, và Kusinara nơi đức Phật nhập diệt. Ông ở lại đây tu học, thỉnh thoảng lại vân du, cuối cùng mất ở đây tại chùa Prinirvana lúc tuổi chừng quá 60.
Sách Ðại Ðường Câu Pháp Cao Tăng Truyện cũng có ghi chép tiểu sử một số thiền sư Trung Hoa trên đường đi Ấn Ðộ đã từng ghé lại Giao Châu. Ðó là các vị Minh Viễn, Huệ Mạng, Vô Hành, Ðàm Nhuận, và Trí Hoằng. Ngoài ra còn có một vị thiền sư người Khương Cư tên Samghavarma (Tăng Già Bạt Ma) đã từ Trung Hoa sang Giao Châu mục đích để đi hái thuốc cho vua Đường. Ông tới đây vào lúc nạn đói đang hoành hành, người và vật chết như rạ. Ông phân phát thực phẩm và y dược ngay giữa đường cho những người đói và bệnh. Xúc động về cảnh khổ, ông thường vừa lo việc cứu trợ vừa khóc, khiến người bấy giờ thường gọi ông là "vị Bồ Tát hay khóc". Ông bị nhọt ở chân và chết lúc 60 tuổi.
Sách An Nam Chí của Cao Hùng Trưng viết vào đời nhà Minh cũng có ghi chép về vài vị tăng sĩ không thấy Thiền Uyển Tập Anh nhắc đến:
- Thiền sư Tam Mạch, người châu Tam Ðới, triều Lý, xuất gia tại chùa Gián Ân, tu hành đắc đạo, có thể bay lên trời giữa ban ngày.
- Thiền sư Vô Châu, người huyện Phi Lộc, cao lớn, tướng mạo dị kỳ, râu dài, lập am trên núi Sư Tử Phong, tu chúng Vân Hoa Tam Muội, mỗi khi giảng kinh thì hào quang phóng xạ. Ông mất lúc 83 tuổi.
- Pháp sư Ma Ni, người huyện Lê Bình, tu ở Ðại Tiên Thánh Nhan, bảy năm thành đạo, hàng long phục hổ và cầu mưa cầu tạnh không gì không linh nghiệm.
- Tứ Quán Huệ Thông là một vị ni sư, quê huyện Chí Linh, xuất gia năm 12 tuổi, thị tịch lúc 84 tuổi.
Những tài liệu trên cho thấy trong các thế kỷ thứ bảy và thứ tám, thiền tông tại Việt Nam có nhiều người học rộng, thông hiểu cả Phạn ngữ lẫn Hán ngữ. Thiền sư Ðại Thừa Ðăng giỏi Phạn ngữ đến trình độ đã chú giải những tác phẩm Phạn ngữ bằng Phạn ngữ. Phụng Ðình và Duy Giám được mời qua cung Ðường giảng kinh. Thi sĩ Thẩm Thuyên Kỳ vào tận trong rúi để bái yết Vô Ngại. Thi sĩ Trương Tịch cũng vào tận trong núi để bái yết Nhật Nam tăng. Nhiều người như Vận Kỳ và Ðại Thừa Ðăng đã vân du cả hai xứ Trung Hoa và Ấn Ðộ để mở rộng kiến thức và hành đạo. Tuy sự cai trị của nhà Ðường đối với Giao Châu rất khắc nghiệt, và tuy chính quyền đô hộ tìm mọi cách để ngăn chặn sự tiến triển của học thuật và văn hóa Giao Châu, nhưng giới thiền sư tại Giao Châu đã có phương tiện để theo đuổi sự tu học và hành đạo của mình.[6]